IONBEAM離子束清洗源特征是：結構簡單，束流密度大，離子能量可控，在大面積改性處理方面具有獨特的優勢，離子束清洗源是在一條環形（長方形或圓形）窄縫中施加強磁場，于真空腔室內在陽極作用下使工藝氣體離化產生高能氬待離子體，并轟擊被鍍工件表面；它不僅可以消除工件表面粘附物，還能“刻蝕”工伯表面氧化物，從而得到“新鮮”的工件表面，極大地提高工件表面薄膜的結合力，并提高膜層純度。離子束清洗源可以做得很大很長，陽極層離子源電流也較大，但其離子流方向性強，且能級分布很寬，適用于大型工件，陽極層離子源還可以應用于離子束輔助沉積，工件表面刻蝕和表面清洗等領域。
